Pure Appl. Chem., 1992, Vol. 64, No. 5, pp. 697-702
doi:10.1351/pac199264050697
Control of reactive plasmas: adventure to improve and to expand plasma processing
R. Itatani
Pure Appl. Chem., 1992, Vol. 64, No. 5, pp. 697-702
doi:10.1351/pac199264050697
R. Itatani